不同的真空系統要求的真空度不同。因此往往須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。

 1、泵都有起始工作壓強，傳統的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合形成真空泵機組，可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率。

 2、高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。而當前級泵達到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續，而且各泵皆可工作在正常狀態。

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